耐腐蚀
BOILPEAK 致力于强化多种技术，耐腐蚀材料应用在干式蚀刻制程与湿式蚀刻制程，选用于绝大部分的有机溶剂、酸类与碱类，均能表现出及优异且稳定之特性。
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BOILPEAK 全氟化弹性体密封件能抵抗超过1800中化学品质严苛考验并且维持为优异密封性能，有效减少制程缺陷与颗粒污染，在半导体晶圆制造和其他高腐蚀性化学产业应用上，BOILPEAK 全氟化密封件提供了卓越的耐化性、耐热性和超高洁净度表现。并且在纳米先进制程中，BOILPEAK全系列产品表现优异，拥有领先地位。
化学耐受性达
1800种
采优异化学耐受性
有效增加产品生命周期
全球通型性
99.9%
BOILPEAK 所研发产品
选用现有机型普及率持续成长
密封技术
1Xnm
领导先进制程，实现新时代纳米
高洁净密封技术
耐溶剂产业应用
凭借多年的行业经验，在全球领先的半导体晶圆代工厂商与设备制造商取得信任 Boilpeak氟化弹性体为他们的关键应用提供了可靠与有效节省的解决方案。 Boilpeak氟化弹性体密封件，全程使用洁净室等级以上之高规格环境所生产制造，研发团队…
半导体
SEMICONDUCTOR
更多半导体产业应用 >>
工业
INDUSTRY
Boilpeak 凭借多年的工业技术经验广泛的应用在化工、制纸、采矿、污水处理、石油设备、发电厂、钢铁业等，Boilpeak全氟化弹性体全系列（FKM、Ter-Polomer、FFKM）耐高温，耐高压，耐油，耐酸，耐磨蚀溶液，耐化学剂，抗UV, 抗臭氧…
更多工业产业应用 >>
BOILPEAK 系列
FFKM
UTpure™系列
Boilpeak旗下的UTpure™,是针对密封高性能需求者所设计推出之全氟化橡胶FFKM产品，并提供各式标准规格及客制化定制成品…
了解FFKM-UTpure™系列 >>
UTchem™系列
Boilpeak 旗下UTchem™,具有优异的耐化性，且密封性能有一定程度的需求者所设计推出之高氟化橡胶产品…
了解FFKM-UTchem™系列 >>
UThot™系列
Boilpeak旗下的Ultrahot™系列，具有良好的耐温及耐化性，对于价格和品质有一定需求的客户，所设计推出之氟化橡胶产品…
了解FKM-UThot™系列 >>
耐腐蚀制程应用
BOILPEAK 有着超过15年以上的卓越制造经验，与时俱进不断的发展与创新，面对严苛的制程条件，我们致力于提供各种解决方案，持续开发新的特殊弹性体材料并同步提供最佳的密封解决方案。
薄膜制程 TF
蚀刻制程 Etch
扩散制程 Diff
薄膜制程分为CVD（化学气相沉积）PVD（物理气相沉积）两种沉积方式均会对制程密封应用来说有这不同的考验。
蚀刻制程环境分为Dry Ethching（干式蚀刻），Wet Etching（湿式蚀刻）。蚀刻制程上主要使用高强度电浆与不同的化学品均会对制程密封应用来说有着不同的考验。
扩散制程分为 lon lmplantation（离子植入），Diffusion（扩散）。扩散制程上主要使用极高的温度与不同的化学品均会对制程密封应用来说有着不同的考验。
耐腐蚀产品系列
Boilpeak 广泛创新O型圈及系列产品，与客户一起从中国找出与产业应用的优秀搭配组合。
产品特性：苛刻化学品溶剂耐受性
极低的金属离子含量
溶剂中析出物少
低压变机械性能好
产品应用：湿法刻蚀
光刻显影
晶圆清洗
液体管道传输
产品制程：Wet Etch、Pumpline、Filter
UTchem™ KR715
more
产品特性：高硬度耐磨自润滑
优异的等离子耐受性
高压力密封稳定性好
低气体渗透率
产品应用：gate valve门密封
控制阀/蝶阀密封
干法刻蚀腔体
截止阀密封圈
产品制程：Dry Etch、PVD
UTchem™ KR820
产品制程：Wet Etch、Dry Etch
UTchem™ KR720
产品特性：优异的等离子耐受性
洁净度较高
产品应用：CVD管道气体排放
等离子腔体密封圈
气体进出口密封
干法刻蚀密封圈
UTchem™ KR245
产品应用：高真空刻蚀腔体
gate valve门密封
UTchem™ KR920
产品特性：优异的等离子体耐受性
高真空下的密封稳定性
经济效益好成本低
支反力稳定性好
等离子腔体密封
隔离阀密封圈
产品制程：Wet Etch、Dry Etch、Pumpline
UTchem™ KR225
