高耐温制程应用

BOILPEAK    有着超过10年以上的卓越制造经验,与时俱进不断的发展与创新,面对严苛的制程条件,我们致力于提供各种解决方案,持续开发新的特殊弹性体材料丙同步提供最佳的密封解决方案。

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薄膜制程  TF

蚀刻制程  Etch

扩散制程  Diff

薄膜制程分为CVD(化学气相沉积)PVD(物理气相沉积)两种沉积方式均会对制程密封应用来说有这不同的考验。

蚀刻制程环境分为Dry Ethching(干式蚀刻),Wet Etching(湿式蚀刻)。蚀刻制程上主要使用高强度电浆与不同的化学品均会对制程密封应用来说有着不同的考验。

扩散制程分为 lon lmplantation(离子植入),Diffusion(扩散)。扩散制程上主要使用极高的温度与不同的化学品均会对制程密封应用来说有着不同的考验。

产品特性良好的耐高温性能

                    优秀的高温水蒸气性能

                    机械力学性能优异

                    较好的支撑反弹力

 

产品应用中心支架密封环

                    流体传输密封圈

                    过滤器密封圈

                    管道垫片密封圈

 

产品制程Wet Etch、Pumpline、Filter

UThot™  KH215

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高耐温产品系列

Boilpeak    广泛创新O型圈及系列产品,与客户一起从中国找出与产业应用的优秀搭配组合。

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产品特性广泛的高温耐受性能

                    高温下气体释气率低                                          金属粘性小且无痕

                    高温压缩永久变形好

 

产品应用中心支架密封环

                    石英管密封圈

                    腔室高温密封圈

                    观察室密封圈

 

产品制程Oxidation、Diff、ALD、LPCVD

UThot™  KH216

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产品特性非常好的气体释放率

                    极好的压变性能                                                高温恢复性能优秀

                    低压力不粘黏金属陶瓷石英

 

产品应用中心支架密封环

                    石英观察窗密封圈

                    节流阀密封圈

                    连接装置密封圈

 

产品制程Oxidation、Diff、RTP  

UThot™  KH126

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产品特性在O和F的电浆环境中有

                    良好的耐受性

                    干法刻蚀工艺耐气体腐蚀性好                            优秀的耐高温性能 

                    释气率很低

 

产品应用气体进口出口密封圈

                    腔体盖子密封圈

                    截止阀密封圈

                    作为动密封用于gate valve和slit                         valve门密封

产品制程Oxidation、Diff、RTP               

UThot™  KH791

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产品特性极端高温耐受性能

                    高温下气体释气率低

                    高温热解率慢

                    高温压缩永久变形好

 

产品应用中心支架密封环

                    石英管密封圈

                    腔室高温密封圈

                    观察室密封圈

 

产品制程Oxidation、Diff、ALD、LPCVD

UThot™  KH218

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产品特性良好的耐高温性能

                    优秀的高温水蒸气性能                                       机械力学性能优异

                    较好的支撑反弹力

 

产品应用中心支架密封环

                    流体传输密封圈

                    过滤器密封圈

                    管道垫片密封圈

 

产品制程Wet Etch、Pumpline、Filter                   

UThot™  KH225

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